ОПТИЧЕСКИЙ профилометр на базе Микроинтерферометра МИИ-4М

Диапазон измерения 100 мкм с нанометровым разрешением

Области применения: измерение толщины пленок и глубины микрорельефа в диапазоне до ±100 мкм с нанометровым разрешением для изделий микроэлектроники, оптоэлектроники, дифракционной оптики, лазерной микрообработки, глубокой рентгенолитографии.

Профилометр выполнен на основе стандартного оптического блока микроинтерферометра МИИ-4М (ЛОМО, Санкт-Петербург). Для ввода изображения используется цветная USB-камера. В оптический блок МИИ-4М встроен высокоразрешающий оптический датчик перемещения объектива микроскопа, связанного с блоком управления. Световолоконный кабель МИИ-4М подключается также к блоку управления, включающему светодиодый осветитель. Блок управления обеспечивает управляемое от компьютера через USB порт чтение положения датчика перемещения объектива и переключение между белым и квазимонохроматическим свето-диодами с регулировкой яркости.

Профилометр имеет два режима измерения: однофокусный и многофокусный. В однофоксном режиме измерение рельефа с глубиной до ±2 мкм проводятся по интерферограмме в белом свете с калибровкой периода полос по интерферограмме в квазимонохроматическом свете. В многофокусном режиме для определения глубины микрорельефа используются показания датчика перемещения объектива и интерферограммы, снятые при различных положениях объектива. В многофокусном режиме диапазон измерения составляет ±100 мкм.

Алгоритм работы ПО, поставляемого в комплекте, включает определение периода полос при квазимонохроматическом освещении и трекинг (определение положения и формы) ахроматической полосы после переключения в режим белого света. Результаты измерения представляются в виде двумерной профилограммы. Программное обеспечение предоставляет следующие возможности: аппроксимация формы микрорельефа; вычисление высоты базовых форм рельефа.

Опция – калибровочная линейная решетка.